國產光刻機上市公司如下：

廣州智光電氣股份有限公司，股票簡稱智光電氣002169；上海飛凱光電材料股份有限公司，股票簡稱飛凱材料300398；江蘇南大光電材料股份有限公司，股票簡稱南大光電300346；沈陽藍英工業自動化裝備股份有限公司，股票簡稱藍英裝備300293；常州強力電子新材料股份有限公司，股票簡稱強力新材300429；蘇州市容大感光科技有限公司，股票簡稱容大感光300576；蘇州晶瑞化學股份有限公司，股票簡稱晶瑞股份300655；

蘇州蘇大維格光電科技股份有限公司，股票簡稱蘇大維格300331。

前四大光刻機上市公司相關介紹如下：1、智光電氣智光電氣主要從事電網安全與控制設備、電機控制與節能設備、供用電控制與自動化設備及電力信息化系統研發、設計、生產和銷售。公司已建立了以測控技術、電力電子技術、通信技術和應用軟件技術為基礎的核心技術平臺，形成了面向電氣控制與自動化前沿領域的產品布局。2、飛凱材料300398公司成立于2002年，總部和研發中心位于上海市寶山，在安徽省安慶市、廣東省惠州市、江蘇省南京市均建有大規模生產基地；并在杭州、蘇州、深圳、臺灣高雄，以及美國舊金山、亞特蘭大、日本、韓國首爾、印度班加羅爾等地設有辦事機構或聯絡點，構成了以上海為中心的國內外銷售服務網絡。3、南大光電3003463月27日晚間，南大光電發布了2018年業績公告。公告中提到，南大光電在報告期內實現營業收入22，817.49萬元，同比上升28.76%。電子特氣產品已在LED行業取得主要的市場份額，并實現了在IC行業的快速替代進口，得到了廣大客戶的高度認可，已成為公司新的利潤增長點。4、藍英裝備300293藍英裝備于2019年4月25日披露年報，公司2018年實現營業總收入17.3億，同比增長28.1%；實現歸屬于母公司所有者的凈利潤1616.1萬，同比增長124.8%；每股收益為0.06元。19年一季度公司實現營業總收入4.1億，同比增長10.8%；歸屬于母公司所有者的凈利潤966.8萬，同比增長4.8%。